嘉兴大哲光能有限公司
解决方案
手套箱(狭缝涂布机)

• 水氧含量:<0.8 PPM

• 净化能力:除氧80 L,除水3 kg。

• 净化阀:全自动电气动阀。

• 过滤器:采用符合HEPA标准的0.3微米孔径滤网的高效率过滤器。

• 再生:用于净化系统再次利用,使其活化;再生需要N2/H2或Ar/H2的混合气体,其中H2占5-10%

产品详情