EN
• 水氧含量:<0.8 PPM
• 净化能力:除氧80 L,除水3 kg。
• 净化阀:全自动电气动阀。
• 过滤器:采用符合HEPA标准的0.3微米孔径滤网的高效率过滤器。
• 再生:用于净化系统再次利用,使其活化;再生需要N2/H2或Ar/H2的混合气体,其中H2占5-10%