• 水氧含量:<0.8 PPM

• 净化能力:除氧80 L，除水3 kg。

• 净化阀:全自动电气动阀。

• 过滤器:采用符合HEPA标准的0.3微米孔径滤网的高效率过滤器。

• 再生:用于净化系统再次利用，使其活化;再生需要N₂/H₂或Ar/H₂的混合气体，其中H₂占5-10%

• 尺寸:最大<1x2m，基片台大小可定制

• 真空极限:优于5.0x10^-5Pa(手套箱环境)

         抽速:大气压~5x10^-4Pa<25min(手套箱环境)

• 溅射靶:矩形靶枪，根据需求定制

• 电源:配置600w射频电源1台、2kw高性能直流脉冲电源1台

• 膜厚均匀性:膜厚均匀性高

• 溅射材料:ITO、IZ0、IWO、等

• 提供品质化,标准化和规模化的高端真空镀膜设备。

• 采用高集成设计,实现控制、生产、导入、导出一体化。

• 智能性强,操作系统植入误操作互锁程序,可避免操作失误。

• 冷却期短,恢复工作真空快,箱内大气至5.0X10-4Pa<15分钟。

• 适配性高，可实现多种金属材料的蒸镀。

• 机型多,从科研试验-产品中试-量产,全范围覆盖

• 可根据客户需求定制。

• 腔体尺寸:最大<1x2m，可定制

• 抽速:大气压~10 Pa<5 s